Direktbelichtungssystem für High-End-Schaltungen
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FDi-MP
Die FDi-Serie ist ein Direktbelichtungssystem der Spitzenklasse, das als erstes auf dem Markt die Anforderungen an ultrafeine und sehr komplexe Schaltungen erfüllt, die mit konventionellen Direktbelichter bisher nicht realisierbar waren.
Merkmale
- Ultrafeine Strukturierungen sind jetzt mit der FDi-Serie realisierbar, mit ORCʼs einzigartigen Ausrichttechnologien; wie für High-End FC-BGA, FC-CSP der nächsten Generation (wie ETS), Multi-Chip-Modul-Package (oder SiP) erforderlich, auch erweiterbar für FO-PLP.
- Ein wählbarer Bildgebungsmodus ermöglicht nicht nur die aktuelle Bearbeitung von HVM, sondern auch zukünftige Produkte der nächsten Jahre
DOE und/oder HVM. - Als Optionen kann FDi-MP als R2R-System, EFEM-System oder Handbetriebs-System konfiguriert oder gebaut werden.
